HuaweiはDUV装置を使って5nmチップを製造することができる…コストを度外視すれば

masapoco
投稿日
2023年11月27日 6:41
asml duv

Huaweiは、米国の制裁にもかかわらず、7nm Kirin 9000Sを大量生産し、一連のフラッグシップスマートフォンに搭載することに成功した。これは業界の専門家にとって驚きを持って迎えられたが、今後の同社の開発には越える事が非常に困難な壁がある。TSMCの元研究開発副社長であり、浸漬リソグラフィーの発明者としても知られる「チップ開発の第一人者」であるBurn Lin氏は、最新の報告で、既存のDUV装置を使用して5nmチップセットを製造することは可能であるが、非常に高価な物になると述べている。

2024年に開発中とされるP70、P70、P70 Artは、来年のHuaweiのフラッグシップハンドセットの第一波となる予定だ。しかし、これらのプレミアムスマートフォンに使用されるチップセットについてはまだ情報がない。DigiTimesによると、Lin氏は、7nmチップから5nmチップへの移行はDUVリソグラフィ装置で可能だが、Huaweiにとっては高くつくと主張している。同氏によると、SMICの既存のDUVリソグラフィ装置では、5nm SoCを大量生産するには、最低でも4倍のパターニングが必要とのことだ。

残念ながら、このプロセスの欠点は、時間がかかるだけでなく高価であり、全体的な歩留まりに影響を与えることで、Huaweiが来年のP70シリーズ用の「次世代」5nm Kirinシリコンを十分に供給できない可能性があることを示唆している。しかし、Lin氏はEUVリソグラフィ装置とDUVリソグラフィ装置を使用して5nmチップを大量生産することを比較していない。オランダの最先端機械メーカーであるASMLは、SMICなどの中国の企業に7nmの閾値を超えるために必要な機器の供給を禁止されており、米国はこの地域の進歩を妨げようとしている。

DUVリソグラフィ装置を使用する場合、複数の露光中に精密なアライメントが必要であり、時間がかかる可能性があり、ミスアライメントが発生する可能性がある。これにより、歩留まりが低下し、ウェハーを製造するのにかかる時間が増加する。Lin氏は、浸漬DUV技術に対して6倍のパターンが可能であると述べているが、上記の関連する欠点から問題が生じる。

その結果、SMICはこれらの5nmウェーハーに対してHuaweiに信じられないほどの金額を請求する可能性があり、Huaweiがスマートフォンの出荷の大部分を1か国に限定しているため、チップセットのボリュームも低くなり、結果としてKirin SoCの価格がさらに上昇する可能性があるとしている。HuaweiとSMICが将来的にEUV機器を調達する可能性については言及されていないが、報告によると、中国政府は外部サプライヤー、特に米国の影響下にあるものに依存しないようにするために数十億ドルを投じているとされている。


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