Micron、広島ファブに日本初のEUV装置を導入し2025年にDRAM製造開始

masapoco
投稿日
2023年5月20日 7:29
micron

Micronは今週、日本の広島のファブを装備して、2025年に極端紫外線(EUV)リソグラフィーを使用する最初のノードである1γ(1ガンマ)プロセス技術でDRAMチップを生産すると公式に発表した。同社は、日本で初めてEUVを用いた量産を行うチップメーカーであり、広島と台湾の工場は、次期1γ技術を使用する最初の拠点となる。

Micronは、大手DRAMメーカーで唯一、EUVリソグラフィーを採用していないことから、2024年に1γプロセス(同社の第3世代10nm級ノード)で使用を開始する予定だった。しかし、PC市場の低迷と同社の支出削減のため、この計画を2025年に延期せざるを得なかった。Micronの1γプロセス技術では、何層かにEUVを使用することになっているが、何層にEUVを使用するかは明らかにされていない。

同社は、1γノードが世界最小のメモリセルを実現すると述べているが、これは、2025年にライバルが何を実現するかわからないという事実を考慮すれば、大胆な発言だ。

micron dram roadmap
(Credit: Micron)

昨年、1γノードは「歩留まり向上」の段階にあり、これは、同社がDRAMのサンプルを広範な試験と品質管理手順でテストしていることを意味する。この時点で、同社は欠陥を特定するためのツールに革新的な検査を導入し、その後、歩留まりを最大化するために特定のプロセスステップ(例えば、リソグラフィー、エッチング)に特定の改善を導入する可能性がある。

Micron社長兼CEOのSanjay Mehrotra氏は、「Micronの広島事業所は、過去10年間にわたり、メモリに関する業界をリードするいくつかの技術の開発と生産の中心的役割を担ってきました。日本で初めてEUVを採用し、広島工場で1Gaを開発・製造できることを誇りに思います」と述べている。

Micronは、広島工場で1γノードのメモリチップを生産するために、ASMLのTwinscan NXEスキャナーを導入する必要があり、そのコストは1台あたり約2億ドルと巨額になる。Micronは、広島工場に先進的なツールを導入するため、昨年9月に日本政府から465億円(3億2千万ドル)の助成金を獲得している。一方、Micronは、「日本政府の緊密な支援のもと、今後数年間で5,000億円(36億1800万ドル)をこの技術に投資する」と述べている。

野原諭 経済産業省商務情報政策局長は「Micronは日本でDRAMを製造している唯一の企業であり、世界のDRAM産業だけでなく、発展する半導体エコシステムのペースランナーとなる非常に重要な存在です。Micronとの連携が広島に根付き、最先端のEUVが日本の地に導入されることを嬉しく思います。今回のEUV導入が、我が国の半導体エコシステムの人材とインフラを深化・発展させるだけでなく、デジタル経済の飛躍的な成長と好機を引き出すことを期待します」と述べている。


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