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リソグラフィ装置
リソグラフィ装置
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キヤノンはEUVよりも9割少ない消費電力でチップ製造が出来るリソグラフィ装置を2025年にも発売する
カメラやプリンタで有名な日本の精密機器メーカーキヤノン(Canon)は、昨年新たな画期的な半導体製造機器であるナノインプリント・リソグラフィ装置(NIL)を発表した...
2024年2月1日 10:42
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